DZS500型电子束蒸发镀膜机厂家 沈阳鹏程真空技术

电子束蒸发镀膜机的用途

电子束蒸发沉积镀膜设备，具有有机材料沉积和金属材料沉积成膜功能。它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.

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电子束蒸发镀膜机设备性能介绍

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设备性能技术指标：

1、设备极限真空度：5×10-5Pa（电子枪静止状态）。

2、设备总体漏放率：关机12小时后，真空度≤8Pa。

3、从大气到抽到≤9×10-4Pa，40min(新设备充干燥氮气)，DZS500型电子束蒸发镀膜机，提高了工作效率。

4、真空漏率：≤10-7Pa.l/s

电子束蒸发镀膜机技术特点介绍

采用了超高真空密封技术，DZS500型电子束蒸发镀膜机厂，极限真空度高，蒸发室可进入10-5Pa量级（≤5×10-5Pa电子枪静止状态），可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。

超高真空密封主要采用如下技术：玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等，整机主要采用金属密封技术，前开门用氟胶圈，真空管路用不锈钢金属波纹管路（不用橡胶管路），DZS500型电子束蒸发镀膜机公司，采用高真空阀门。

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